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      膜臟的不良產生原因及對策

      2019-12-13

      膜臟也稱白壓克,顧名思義,膜層有臟。一般的膜臟發生在膜內或膜外。臟可以包括:灰塵點、白霧、油斑、指紋印、口水點等。(灰塵點和白霧單列)

      灰點臟

      現象:鏡片膜層表面或內部有一些點子(不是膜料點)有些可以擦除,有的不能擦除。并且會有點狀脫膜產生。

      產生原因:

      1. 真空室臟,在開始抽真空時的空氣渦流將真空室底板、護板的臟灰帶到鏡片上,形成灰點層。(膜內,不能擦除,會有點狀脫膜)

      2. 鏡圈或碟片臟,有浮點灰塵,在離子束作用下附著到了鏡片上形成灰點層。(膜內,不能擦除,會有點狀脫膜)

      3. 鏡片上傘時就有灰塵點,上傘時沒有檢查挑選。(膜內,不能擦除,會有點狀脫膜)

      4. 鍍制完成后的環境污染是膜外灰點的主要成因,特別是當鏡片熱的時候,更容易吸附灰塵,而且難以擦除。(膜外)

      5. 真空室充氣口環境臟、開始充氣量過大、充氣過濾器臟,充氣時鏡片溫度過高也是造成鏡片膜外灰塵點不良的原因。(膜外)

      6. 作業員人為帶來的灰塵污染(膜內膜外)

      7. 工作環境中灰塵過多

      改善思路:杜絕灰塵源

      改善對策:

      1、工作環境改造潔凈車間,嚴格按潔凈車間規范實施。

      2、盡可能做好環境衛生。盡量利用潔凈工作臺。

      3、 真空室周期打掃,保持清潔。

       

      膜外白霧

      現象:鍍膜完成后,表面有一些淡淡的白霧,用丙酮或混合液擦拭,會有越擦越嚴重的現象。用氧化鈰粉擦拭,可以擦掉或減輕,(又稱:可擦拭壓克)

      產生原因:

      1. 膜結構問題:外層膜的柱狀結構松散,外層膜太粗糙;

      2. 蒸發角過大,膜結構粗糙。

      3. 溫差:鏡片出罩時內外溫差過大

      4. 潮氣;鏡片出罩后擺放環境的潮氣

      5. 真空室內Polycold解凍時水汽過重

      6. 蒸鍍中充氧不完全,膜結構不均勻

      7. 膜與膜之間的應力

      改善思路:膜外白霧成因很多,但各有些特征,盡量對癥下藥。主要思路,一是把膜做的致密光滑些不容易吸附,二是改善環境減少吸附的對象。

      改善對策:

      1. 改善膜系,外層加二氧化硅,使膜表面光滑,不易吸附。改善鏡片出罩時的環境(干燥、清潔)

      2. 降低出罩時的鏡片溫度(延長在真空室的冷卻時間)減少溫差、降低應力。

      3. 改善充氧(加大),改善膜結構。

      4. 適當降低蒸發速率,改善柱狀結構

      5. 離子輔助鍍膜,改善膜結構

      6. 加上polycold解凍時的小充氣閥(其功能是及時帶走水汽)

      7. 從蒸發源和夾具上想辦法改善蒸發角。

      8. 改善基片表面粗糙度。

      9. 注意polycold解凍時的真空度。

       

      膜內白霧

      白霧形成在膜內,無法用擦拭方法祛除。

      產生原因:

      1. 基片臟,附著前工程的殘留物

      2. 鏡片表面腐蝕污染

      3. 膜料與膜料之間、膜料與基片之間的不匹配。

      4. 氧化物充氧不夠。

      5. 第一層氧化鋯膜料,可能對某些基片產生白暈現象

      6. 基片進罩前(洗凈后)受潮氣污染

      7. 洗凈或擦拭不良,洗凈痕跡、擦拭痕跡

      8. 真空室臟、水氣過重

      9. 環境濕度大

      改善思路:基片本身的問題可能是主要的,鍍膜是盡量彌補,鍍膜本身最大的可能是膜料匹配問題。

      改善對策:

      1. 改進膜系,第一層不用氧化鋯。

      2. 盡量減少真空室開門時間,罩與罩之間在最短的時間內做好真空室的清潔、鍍膜準備工作。

      3. 真空室在更換護板、清潔后,最好能空罩抽真空烘烤一下,更換的護板等真空室部件必須干燥、干凈。

      4. 改善環境

      5. 妥善保護進罩前在傘片上的鏡片,免受污染。

      6. 改善洗凈、擦拭效果。

      7. 改善膜匹配(考慮第一層用Al2O3)

      8. 改善膜充氧和蒸發速率(降低)

      9. 加快前工程的流程。前工程對已加工光面的保護加強。

      10. 拋光加工完成的光面,必須立即清潔干凈,不能有拋光粉或其他雜質附著干結。


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